・ナノマイクロリソグラフィ装置
・ナノマイクロ成膜/エッチング装置
・ナノマイクロ材料分析/評価装置
※当該支援リスト外の装置も相談可
(電子・光・バイオ応用関連の装置もあります。)
装置の利用法は、各装置に精通した技術補助員による支援のもとで、
@利用者自身での装置操作
A技術代行
B共同研究
の形式を選択できます
多岐にわたる多くの実績、技術を有する本学研究者群が、加工、評価に関する技術相談を承ります。
単一装置のみの利用から、複数装置の組み合わせ利用まで、幅広く対応します。研究・開発の進捗状況に応じて、適宜、利用形態を変更することも可能です。